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LED和化合物半導體製造的新型真空泵

發布時間:2020-02-19   點擊次數:167次

幹泵技術包括羅茨泵、爪式泵和螺杆式技術,Edwards新型CXS真空泵等幹泵設備的一個關鍵優勢就是它們不使用水或油來進行真空階段的密封或潤滑,因而這些設備的運行成本非常經濟,可讓用戶優化真空工藝,並最大限度地降低總體擁有成本。

  幹泵消除了工藝過程汙染油或油搭載進入尾氣處理係統的風險,它們不會產生廢物、或者汙染寶貴的溶劑、產品或環境。正因為這樣,與基於液體的水環泵、油封泵和蒸汽噴射係統相比,幹泵設備除了能夠提高速度、工藝可重複性、靈活性和生產率之外,還能夠顯著節省運營成本、維護成本和安裝空間。

  易於使用的CXS泵係列采用尖端的錐形螺杆技術,具有優越的可靠性,而且安裝簡單、環保並提供更高的液態和固態物處理能力。

  先進的螺杆技術能夠沿著轉子(rotor)提供平滑的漸進壓縮,從而在所有入口壓力下提供改進的熱量控製和抽空。此外,CXS泵的特點是具有先進的溫度管理係統(temperature management system, TMS),將溫度保持在可控製的水平上,實現工藝性能的優化。

  創新的CXS泵設計包含了有助於實現出色性能的新穎壓縮和馬達技術,相比標準的馬達及整體驅動和控製係統,使用浸沒式空氣間隙封裝馬達(flooded air-gap potted motors),效率大大提高,從而降低總體擁有成本。

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