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真空係統的工藝要求

發布時間:2020-03-11   點擊次數:166次

鍍膜機:已被廣泛應用於塑料、工藝禮品、包裝、光學、電子、玩具、建材、五金、鍾表、飾品、汽車等行業,鍍膜機營銷範圍遍及全國。向日葵视频色板在操作流程上,從采購原料、設備製造、經營管理、技術員的現場安裝調試到售後服務形成了一條有序的、完善的質量管理體係。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙層水冷結構。
  根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備,其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求,轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。

  真空係統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。根據工藝要求選擇鍍製方式及形式,如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平麵磁控源、矩型平麵磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動、電動的引弧等),真空測量可選擇數字式智能真空計及其的測量規管,及其它測量儀器,如自動壓強控製儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門,並可選擇多路充氣管路及相應流量參數。根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。根據設備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控製方式。完善的報警係統,對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

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