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真空泵在真空係統中所起的作用

發布時間:2020-03-17   點擊次數:154次

       真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的範圍,至今為止還沒有一種真空係統能覆蓋這個範圍。

  真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為:利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展,真空泵的種類已發展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。由於各種真空泵的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外,尚具有不同之處。因此在選用時必須明確泵在真空係統中所承擔的工作任務。

泵在各種不同工作領域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方麵:

1.主泵

所謂主泵就是對真空係統被抽容器直接進行抽真空,以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。

2.粗抽泵

粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空係統壓強達到另一抽氣係統可以開始工作的真空泵。

3.前級泵

前級泵是指用於使另一個泵的前級壓強維持在其z*高許可的前級壓強以下的真空泵。

4.維持泵

維持泵是指當真空係統抽氣很小時,不能有效的利用主要前級泵。為此,在真空係統中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

5.粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指從大氣開始,降低被抽容器的壓強後工作在低真空或粗真空壓強範圍內的真空泵。

6.高真空泵

高真空泵是指在高真空範圍工作的真空泵。

7.超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空範圍工作的真空泵。

8.增壓泵

增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣係統在中間壓強範圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。

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