阿特拉斯·科普柯ZRS係列機械增壓泵基於羅茨原理,機械增壓泵是壓力範圍為0.01至10 mbar需要大抽速的應用中熱門的類型。一般需要配套一台前級泵使 用,前級泵可以預抽到增壓泵的啟動壓力。機械增壓泵運行壓力相對較低,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性工藝介質中,因此可靠性非常高。這一獨特係列的產品優勢:
1.適用於壓力範圍為0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr,需要抽速較大 的應用場合。
2. 運行壓力相對較低,可靠性極高。
3.ZRS係列屬於高品質、無油泵結構 (噪音低、無振動運行 堅固耐用、耐腐蝕 擁有先進的軸封技術,工藝腔無油汙染)。
4.有效的軸封確保油不會進入泵腔,而且由於沒有內部和外部旁通管路 和閥這些可能會被腐蝕的部件,因此將維護需求降至最低。
5.對軸封的設計進行了優化,以確保潤滑劑不會遷移到泵腔,使泵在潔 淨度要求極高的環境下發揮增壓泵的性能。此外,還可以防止在公差非常嚴格的轉子凸角和端麵上聚集微塵顆粒。
6. 動平衡的轉子及精密研磨齒輪使泵的運行平穩、靜音,以滿足先進技術設備製造商的要求。
阿特拉斯·科普柯ZRS機械增壓泵係列產品:ZRS 250、ZRS 500、ZRS 1200、ZRS 2600、ZRS 4200
阿特拉斯·科普柯ZRS機械增壓泵係列產品圖片:
阿特拉斯·科普柯ZRS機械增壓泵係列產品參數:
羅茨泵需要在純粹的容積水平上運行,且與旋片式真空泵相比,羅茨泵不具有內部壓縮功能。它能夠對排氣壓力進行壓縮。與旋片式真空泵相比,與介質接觸的所有部件都是無油的,而且,所有適用於羅茨泵的部件同樣適用於幹式真空泵。它的特點就是結構緊湊、泵速高。
1、在極限壓力下運行
對於在最大差壓下運行的羅茨泵,在對其進行冷卻前,不建議將其直接置於極限壓力下運行。在極限壓力下,由於真空泵轉速過快,最小或零氣體通過量不會通過氣體或外殼表麵散發任何熱量。由於溫度的突然升高,轉子和外殼之間的的氣隙太小,泵會停止轉動。在嚴重情況下,這會導致真空泵完全失效。
2、不當的溫度波動
在羅茨泵塞仍然很熱的情況下,環境溫度突然大幅度下降將會造成泵殼收縮,導致泵停止轉動。如圖1所示,這在極限壓力下作業時會尤其重要。因此,必須不惜一切代價避免環境溫度的突變。另外,操作人員一定要注意不要突然打開附近的百葉窗、其他門等,特別是在冬天。
另外,對於那些自立式泵,要將其放在屋簷或天蓬下,以免其受到雨淋。如果在發生火災時,將水直接對準泵,泵殼可能會爆炸,尤其是那些由灰口鑄鐵製作的殼體更容易發生爆炸。球墨鑄鐵版的泵,由於其材料的較高強度,更適合於承受這樣的熱波動。
3、溫度控製
如果將羅茨泵以其最大差壓運行,則需要在排氣端安裝一個溫度傳感器,用以防止過熱及由此產生的任何損害。這會在限定的溫度時產生警報,並且當其達到最大允許氣溫時,將會關閉泵。
4、快速抽空
在應用中,必須實現幾秒鍾的抽取周期,因此操作人員必須要確保羅茨泵和前級泵的比例為1:2。保證這一比例非常的必要,因為前級泵以100 hPa壓強將空氣泵出占用了大部分的泵出時間,而羅茨泵隻需從10 hPa起的壓力就可以有效運轉。因此,前級泵尺寸必須相應地大一些才行。
5、液體侵入
突然的液體侵入會損壞泵,因為發生急劇冷卻時,氣體無法達到所需的溫度來蒸發液體。額外的蒸汽不能及時泵出,因為前級泵已經超負荷且前級壓力可能上升到過高的水平。為防止這種情況的發生,有必要在處理室和羅茨泵之間安裝一個接收器,以使液體在沒進入泵前就被吸收。
6、啟動泵
如果使用了多級泵站或者多個並行操作的真空泵組合,那就有必要以交錯的間隔來啟動這些泵,先要啟動的是大氣泵,這樣可以避免過度的電力峰值以及保護高成本的斷路器。這通過計時元件可很容易地在控製器和PLC中實現。還有一種方法,就是使用一個變頻器,緩慢地啟動泵。
7、灰塵堆積
在會產生顆粒或挾帶灰塵的工藝過程中,如在冶金或拉晶過程中,有必要在泵的進氣口安裝一個濾塵器,保護羅茨泵和下遊泵。應該在羅茨泵的進氣口處安裝所謂的碎片保護網,防止在首次使用係統時,由於清潔不當導致有較大固體物質和焊珠從焊接接頭射出。在這種情況下,建議使用泵製造商的配件,因為設計了碎片保護網,以使其自由截麵與泵的公稱直徑相符。保證了泵速不會因意外的電導損耗量而受到影響。
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